特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內,存有內容物時,無論內容量多少,在該容器儲存場地2m內,嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環境溫度≤40℃為佳。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發光二極管、太陽能電池等半導體行業生產制造過程中不可或缺的關鍵性化工材料,被廣泛的應用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。
特種氣體的儲存注意事項:根據儲存的氣體類型設置標牌,如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內”等等。并配置消防器材、噴淋系統、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。滅菌特種氣體可殺滅細菌(及其內孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體在太陽能電池中的應用:非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
特種氣體指半導體生產環節中,比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種氣體的儲存注意事項:儲存高壓氣體≥300m,液化氣≥3000kgs時,儲存場所需要經過縣級以上相關單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處,需設有安全警示牌。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業生產中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。
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